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半导体数字化微喷砂设备

【应用产品】:本机为专门针对半导体陶瓷、碳化硅等平面类、圆类产品处理要求而设计的六轴机械手喷砂设备,
【特点】:设备可以满足半导体产品表面高精度的喷砂工艺要求,粗糙度公差可以达到纳米级要求,能对出砂量、距离、速度等精准控制。为密闭内循环舱式喷砂机,配置专业高效喷砂枪。采用电缆内置式的多功能 6 轴机器人,在其同系列中具有最高性能的动作能力。工作台采用发那科伺服变频调速。结构简单、维修、维护容易。
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